精度高,聚焦光斑最小可達10um,切割邊緣無毛刺
冷加工，采用納秒紫外激光器，冷光源,激光切割熱影響區(qū)小至10um
速度快, CCD視覺預(yù)掃描，自動抓靶定位，機器人自動上下料，切劃IC指紋識別芯片，單粒耗時3S
節(jié)能環(huán)保，2萬小時無耗材，機械手全自動上下料系統(tǒng)，節(jié)省人力成本
| 序號 | 項目 | 參數(shù) |
|---|---|---|
| 01 | 激光器類型 | 355nm |
| 02 | 激光功率 | 15W-25W |
| 03 | 光束質(zhì)量 | M2＜1.3 |
| 04 | 最小聚焦光斑直徑 | 10μm |
| 05 | 加工速度 | 100-1500mm/s可調(diào) |
| 06 | 加工材料厚度 | 1mm-2mm |
| 07 | 最大加工尺寸&精度 | 300mm*350mm,±5μm |
| 08 | 機床運動軸數(shù)&種類 | 最多8軸，XYZ軸運動 |
| 09 | 平臺最大行程&速度 | 500mm*350mm,800mm/s |
| 10 | 運動平臺重復(fù)精度 | ≤±1μm |
| 11 | 運動平臺定位精度 | ≤±3μm |
| 12 | CCD視覺定位精度 | ±3μm |
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